真空泵机组的抽速

点击次数:   更新时间:22/08/23 08:53:08     来源:www.hzvac.com关闭分    享:
  任何真空系统都希望尽量缩短抽气的时间,这关系到提高其效率和降低能耗,但并不是所有的真空应用都具有缩短抽气时间的条件。真空泵机组真空度要求在0.5pa以上,只要时间常数足够的小,便可昼量缩短抽气的时间。
  真空泵机组真空度要求在0.5Pa以下,就要改虑放气对压力变化的影响。放气量随时间的变化缓慢。特别是在无烘烤的情况下。要在预定较短的时间内达到较高的真空度,就要以较大的抽速抽除较大的放气量。也就是说如放气量为Q,泵的有效抽速为S0,则可达到平衡压力P=Q/S0.如平衡压力确定,则达到的时间越短,要求真空泵机组的有效抽速就越大。蒸发镀膜就是典型的这类的应用,由于蒸镀的速度快,时间短,所以不考虑放气量的影响(即活性气体的影响)。但蒸发粒子的能量低,要求绝大部分粒子无碰撞地沉积到工件上,以保证结合力及减少散射,这就要求真空室内的平均自由程不小于蒸发源到工件的距离,与此相应的压力约在1×10-2Pa,这便是蒸发镀膜对真空度的要求。
  如何在尽量短的时间内达到这一压力,就对泵的有效抽速提出了要求,原则是时间越短,由于放气量越大,有效抽速就要求越大。所以蒸发镀膜一般配置抽速强大的油扩散泵机组,功率有数十千瓦,几分钟至十几分钟内便可达到工作真空度,但该系统对工件造成的油蒸汽污染是难以避免的,特别是塑料金属化膜层易发黄。
  目前真空泵机组抽速满足不了大型蒸发镀的需要。而大抽速的低温泵又是工业化规模镀膜所承受不了的。根据被抽空间气体负载的特性,利用分子增压泵抽除气体,结合低温冷凝水捕集泵抽除水蒸汽,有望实现大抽速获得清洁真空的全新抽气工艺。

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